ZEM系列臺(tái)式掃描電鏡-原位拉伸一體機(jī)
ZEM系列原位拉伸掃描電鏡基于自主研發(fā)的臺(tái)式掃描電鏡,集成原位拉伸樣品臺(tái),對(duì)樣品進(jìn)行原位拉伸/壓縮/彎曲的過(guò)程中實(shí)時(shí)觀察樣品表面形貌的變化。
ZEM系列臺(tái)式掃描電鏡-原位拉伸一體機(jī),采用自主研發(fā)的鎢燈絲電子槍,加速電壓最高20KV可調(diào),搭配二次電子探測(cè)器、背散射電子探測(cè)器、1000N原位拉伸樣品臺(tái),實(shí)現(xiàn)掃描電鏡內(nèi)的原位拉伸/壓縮/彎曲實(shí)驗(yàn)。
? 原位拉伸臺(tái)參數(shù)
▲載荷范圍:0-1000N
▲位移分辨率:20nm
▲加熱模塊:可選
▲加載功能:拉伸、壓縮、三點(diǎn)彎曲
? 電鏡主機(jī)特色
▲ 真空分隔技術(shù) :采用獨(dú)特真空設(shè)計(jì),電子槍和樣品倉(cāng)真空分離,換樣時(shí)間小于1min。
▲ 超大樣品倉(cāng):提供了更大的樣品存儲(chǔ)空間,方便用戶操作。
▲ 超高分辨率:極限放大倍數(shù)達(dá)到36萬(wàn)倍,分辨率4nm@20kV。
▲ 選配減速模式:允許弱導(dǎo)電樣品在不噴金的情況下進(jìn)行觀察。
▲ 倉(cāng)內(nèi)攝像頭:樣品倉(cāng)內(nèi)置高清攝像頭,原位實(shí)驗(yàn)時(shí)可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)樣品原位變化。
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